Sử dụng Bộ lọc hóa học
để cải thiện phòng sạch các phân tử bị ô nhiễm
– Giới thiệu dữ liệu thử nghiệm xác nhận hiệu suất dài hạn
cấu trúc FFU
Hiệu suất và tuổi thọ của GIGASORB đối với chất hữu cơ
Trong phòng sạch, có nhiều chất hữu cơ có nhiệt độ sôi tương đối thấp, hiệu suất loại bỏ và tuổi thọ của các thành phần này không tốt lắm (GIGASORB không thể hấp thụ hầu hết các thành phần có thời gian lưu dưới 10 phút)
Tuy nhiên, đối với các chất hữu cơ có nhiệt độ sôi cao, thời gian lưu trên 20 phút, gần như 100% các chất hữu cơ có thể được hấp thụ bởi MAT cho đến lớp GIGASORB thứ nhất hoặc thứ hai (các thành phần sau lớp thứ ba là không được phát hiện)
Hiệu suất và tuổi thọ liên quan đến amoniac, boron của GIGASORB
(hiệu suất loại bỏ khí nồng độ thấp)
Sau 3 năm lắp đặt, khi nồng độ AMMONIA (amoniac) ở phía đầu nguồn là 0,73ug/m3 thì ở phía đầu nguồn của GIGASORB là 0,09ug/m3, duy trì hiệu quả loại bỏ gần 90%
Sau 3 năm lắp đặt, khi nồng độ BORON (boron) ở phía đầu nguồn là 0,054ug/m3, thì ở phía hạ nguồn của GIGASORB là 0,009ug/m3, duy trì hiệu quả loại bỏ hơn 80%
Kiểm tra tiếp xúc wafer trong phòng sạch (Tham khảo)
